完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 李崇仁 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-13T10:40:22Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-13T10:40:22Z | - |
| dc.date.issued | 1994 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | NSC83-0404-E009-017 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/97412 | - |
| dc.identifier.uri | https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=120636&docId=20114 | en_US |
| dc.description.abstract | 本計畫係一長期計畫"薄絕緣層□複晶矽及 相關元件之研究(□)□(□)□(□) "(□)之延續 計畫.全程計畫之目標,為對薄絕緣層如SiO2, SiNxOy及複晶矽薄膜等,其應用於元件上之一些 製備方式□物理性質□元件應用□測量方法等 作一研究. | zh_TW |
| dc.description.sponsorship | 行政院國家科學委員會 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.subject | 薄絕緣層 | zh_TW |
| dc.subject | 複晶矽 | zh_TW |
| dc.subject | 橢圓儀 | zh_TW |
| dc.subject | Thin dielectric | en_US |
| dc.subject | Polysilicon | en_US |
| dc.subject | Ellipsometry | en_US |
| dc.title | 薄絕緣層複晶矽及相關元件之研究(V) | zh_TW |
| dc.title | Study on Thin Dielectrics, Poly Silicon and Related Devices(V) | en_US |
| dc.type | Plan | en_US |
| dc.contributor.department | 國立交通大學電子工程研究所 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 研究計畫 | |
