高敏感光罩用電子束阻劑系統之研究

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	龍文安	en_US
dc.contributor.author	Loong Wen-an	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:40:33Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:40:33Z	-
dc.date.issued	1993	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC82-0405-E009-316	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/97641	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=46875&docId=6742	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	高敏感光罩用電子束阻劑系統之研究	zh_TW
dc.title	Studies on the Highly Sensitive Electron-Beam Resist System	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學應用化學系	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫