薄膜超導元件的研製與特性探討：1.雷射光束造 形法之研究2.微波及其它特性之研究(III)

Abstract

本計畫主要延續去年本研究群對於高溫超 導元件物理與應用之長期研究,今年將進一步 開發雷射技術在高溫超導體研究的應用,事實 上,一般雷射技術運用在高溫超導材料之研究 上,大致可分成脈衝雷射蒸鍍超導薄膜(PLD & PLA) ,雷射造形(Laser patterning)和超快速雷射量測高 溫超導材料特性等三方面,本研究群已於兩年 前建立以準分子脈衝雷射蒸鍍高溫超導薄膜之 技術,然而因經費所限,此由中山科學院支持購 得之雷射品質較不穩定,除了輸出能量變化大, 雷射氣體之耗費亦相當可觀,為使本研究群得 以延續以前之研究工作,本研究群希望貴處能 於本年度支持購買一新的準分子雷射,一方面用以穩定鍍膜品質,一方面用以開發蒸鍍較大 面積超導薄膜之技術,以符合應用之要求,至於 等二項雷射造形,本研究群已在教育部款項支 持下,購得以Nd:Yag雷射為主之雷射造形系統,在 近期內即將設置完成並推動雷射造形之研究. 本年度本研究即將以前述兩套系統製作各式高 溫超導電子元件,主要將製作具Josephson效應之 元件及微波被動元件兩類,Josephson效應元件本 研究群已有相當的研究經驗與成果,目前的目 標將為製備穩定的元件,並開始製作具應用功 能之超導元件如超導量子干涉元件等,至於超 導微波被動元件之製作方面,本研究群已於前 期研究計畫中設置完成以微波向量網路分析儀 為主之低溫微波元件測量系統,本年度即將測 量高溫超導薄膜之微波特性,並以大面積高溫 超導薄膜製作各類基本微波元件以與傳統微波 元件系統比較.