具磁性材料薄膜之集積式電感之研製及其在積體電路之應用

Abstract

基於集積式薄膜電感製造技術仍未與積體電路 製造技術相容合,而其應用潛力卻十分重大,本計 畫擬分三年對集積式薄膜電感作一深入而完整之 研究,自磁性材料薄膜濺鍍系統之組合,薄膜之濺 鍍技術,蝕刻技術,電感計算理論,電感圖案,金屬 蝕刻技術,電感設計最佳化,乃至電感研製技術之 加入互補式金氧半技術,電感之尺寸縮小,以及其 應用電路設計發展,均將予以研究,以獲致成果.