具磁性材料薄膜之集積式電感之研製及其在積體電路之應用

標題:	具磁性材料薄膜之集積式電感之研製及其在積體電路之應用 The Fabrication of Integrated Inductors with Ferrite Film and Their Application in Integrated Circuit
作者:	吳重雨 CHUNG-YUWU 交通大學電子物理研究所
關鍵字:	集積式薄膜電感;磁性材料;濺鍍;蝕刻技術;Integrated thin-film inductor;Magnetic material;Sputtering;Etchingtechnique
公開日期:	1993
摘要:	基於集積式薄膜電感製造技術仍未與積體電路製造技術相容合,而其應用潛力卻十分重大,本計畫擬分三年對集積式薄膜電感作一深入而完整之研究,自磁性材料薄膜濺鍍系統之組合,薄膜之濺鍍技術,蝕刻技術,電感計算理論,電感圖案,金屬蝕刻技術,電感設計最佳化,乃至電感研製技術之加入互補式金氧半技術,電感之尺寸縮小,以及其應用電路設計發展,均將予以研究,以獲致成果.
官方說明文件#:	NSC82-0404-E009-199
URI:	http://hdl.handle.net/11536/97910 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=62361&docId=9172
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