低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I)

標題:	低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I) Study on Low Dielectric Constant Materials in ULSI Application(I)
作者:	施敏 SZE SIMON MIN 國立交通大學電子工程學系
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2215-E009-097
URI:	http://hdl.handle.net/11536/98506 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583864&docId=109700
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