晶片電感結構及其製造方法

Abstract

本發明係有關於一種晶片電感結構及其製造方法，其包含一基板、一多孔層、複數導體與一電感，多孔層設置於基板上方且有複數孔洞，該些導體分別設於該些孔洞，電感設置於多孔層上方。本發明藉由該些導體作為核心，如此可增加電感值，且可縮小晶片電感的面積，並降低生產成本，此外本發明之製造方法簡單，且相容於CMOS製程，而可降低生產成本。