高密度電漿源設計製作及其應用在半導體製程發展(III)

Date

Authors

Keywords

電漿源 , 超大型積體電路 , 極大型積體電路 , Plasma source , VLSI , ULSI

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542283&docId=99633
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/101326

Collections

研究計畫;;Research Plans