金屬薄膜與矽晶以及絻緣層界面反應研究(II)

Date

Authors

Keywords

金屬薄膜 , 矽 , 介電層 , Metal thin film , Silicon , Dielectric layer

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=542193&docId=99608
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/101215

Collections

研究計畫;;Research Plans