完整後設資料紀錄
| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 曲新生 | en_US |
| dc.contributor.author | CHU, HSIN-SEN | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-12-13T10:51:53Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-13T10:51:53Z | - |
| dc.date.issued | 2000 | en_US |
| dc.identifier.govdoc | NSC89-2212-E009-080 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/102980 | - |
| dc.identifier.uri | https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=549699&docId=101498 | en_US |
| dc.description.sponsorship | 行政院國家科學委員會 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh_TW | en_US |
| dc.title | 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫二：BST 介電薄膜在12吋矽晶圓上快速熱回火製程中熱物理性質及熱應力之研究(II) | zh_TW |
| dc.title | Study on the Thermal Properties and Stresses of a 12-inches Silicon Wafer with High-dielectric BST Thin Films in Rapid Thermal Processing/Annealing(II) | en_US |
| dc.type | Plan | en_US |
| dc.contributor.department | 國立交通大學機械工程研究所 | zh_TW |
| 顯示於類別： | 研究計畫 | |
文件中的檔案：
若為 zip 檔案，請下載檔案解壓縮後，用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。
