| 標題: | 纖鋅礦結構材料之非極性晶面 |
| 作者: | 張立 何焱騰 |
| 公開日期: | 16-九月-2013 |
| 摘要: | 本發明係有關於一種成長纖鋅礦結構之新穎非極性()面磊晶層之方法，其包括：提供一具有鈣鈦礦(Perovskite)之單晶氧化物；選擇該單晶氧化物的一平面作為一基板；在該基板上以氣相沉積法生長一具有纖鋅礦結構半導體之非極性()面磊晶層。本發明亦提供一種以前述方法成長之非極性()晶面之磊晶層。 |
| 官方說明文件#: | C30B025/02 C30B029/16 C30B029/40 H01L021/18 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/103210 |
| 專利國: | TWN |
| 專利號碼: | 201337050 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
