三維積體電路的靜電放電防護結構

Abstract

一種三維積體電路的靜電放電防護結構,包括一第一主動層、一矽晶穿孔元件以及一第二主動層。其中矽晶穿孔元件配置於第一主動層中,第二主動層則與第一主動層相互堆疊。第二主動層包括一基板以及一靜電放電保護元件,靜電放電保護元件具有一摻雜區埋於基板內,且靜電放電保護元件電性連接該矽晶穿孔元件。