反應器、化學氣相沈積反應器以及有機金屬化學氣相沈積反應器

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	陳衛國	en_US
dc.contributor.author	陳京玉	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-16T06:12:19Z	-
dc.date.available	2014-12-16T06:12:19Z	-
dc.date.issued	2011-07-01	en_US
dc.identifier.govdoc	C23C016/455	zh_TW
dc.identifier.govdoc	C23C016/30	zh_TW
dc.identifier.govdoc	C23C016/52	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/103582	-
dc.description.abstract	一種反應器具有複數個獨立熱庫。每一熱庫可藉由加熱與冷卻的方式，來調整熱庫溫度。第一熱庫與第二熱庫面對面相對設置，且兩者內側具有一預定的距離及一預定的夾角。第一熱庫上可放置至少一基板，基板位於的一熱庫與第二熱庫之間，且第二熱庫的溫度較第一熱庫的溫度為高，以增進反應物的熱分解效率。	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	反應器、化學氣相沈積反應器以及有機金屬化學氣相沈積反應器	zh_TW
dc.type	Patents	en_US
dc.citation.patentcountry	TWN	zh_TW
dc.citation.patentnumber	201122149	zh_TW
顯示於類別：	專利資料

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