鐵電元件之製造方法及鐵電材料之熱處理方法

Abstract

本發明提供一種鐵電元件之製造方法及鐵電材料之熱處理方法，係在形成鐵電薄膜之後，採用低能量之雷射退火為第一階段處理，以使鐵電薄膜表面形成結晶核並改善薄膜內應力狀態，接著施以高能量之第二階段熱處理，以大幅改善整體鐵電薄膜結晶結構，進而獲得良好之鐵電特性。因此本發明提供一種低製程溫度及低熱應力之鐵電材料熱處理方法，可有效降低交互擴散及低熔點成分的揮發，具有高可靠、低熱處理成本、快速熱處理、元件產出效率高等功效。