| 標題: | 太陽エネルギ電池のＧｅｘＳｉ１－ｘ緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。 |
| 作者: | 張翼 唐士軒 林岳欽 |
| 公開日期: | 25-五月-2012 |
| 官方說明文件#: | H01L031/04 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105804 |
| 專利國: | JPN |
| 專利號碼: | 5001985 |
| 顯示於類別： | 專利資料 |
- 太陽エネルギ電池のＧｅｘＳｉ１－ｘ緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。 / 張翼;唐士軒;林岳欽
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