標題: 形成一T型閘極結構的方法
作者: 張翼
黃祿哲
張嘉華
林岳欽
成維華
劉世謙
公開日期: 1-Oct-2014
官方說明文件#: H01L021/336
H01L021/28
URI: http://hdl.handle.net/11536/106072
專利國: TWN
專利號碼: I455212
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