標題: | 檢測系統及方法 |
作者: | 彭德保 周正全 |
公開日期: | 11-Aug-2008 |
摘要: | 本發明係揭露一種檢測系統及方法,用以檢測具有紋理 之一待測加工物,此檢測系統至少包含一架構、一感測器、 複數個發光元件及一控制模組。架構係以弧狀結構環繞待測 加工物,感測器用以產生一影像,發光元件係配置於架構 上,控制模組用以控制一角度及一方位之發光元件之開啓或 關閉,以產生光束照射予待測加工物,並反射至感測器,以 產生影像。 |
官方說明文件#: | H01L021/66 H01L021/60 G01N021/88 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/106224 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | I299890 |
Appears in Collections: | Patents |
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