以表面微加工技術製作垂直式梳狀致動器之方法

Abstract

本發明垂直式梳狀致動器之製法，係於基材上以電鑄形成第一犧牲層後，並於該第一犧牲層上以電鑄形成下梳狀電極，再於該下梳狀電極上電鑄形成第二犧牲層，然後在第二犧牲層上先後以沈積法形成第三犧牲層及上梳狀電極，最後蝕刻上述各犧牲層而得到垂直式梳狀致動器。藉此解決習知技術致動效果不佳、致動行程受限、基底材料受限，或上、下電極之側向間距受限於對準精度而造成控制不佳的問題，相對可達到降低致動電壓、增大行程及適用各種基材的功效。