| 標題: | 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究 Predictive Disturbance Observer Structure Applied to Semiconductor Manufacturing Process under Different Kinds of Stochastic Disturbances |
| 作者: | 李安謙 LEE AN-CHEN 國立交通大學機械工程學系（所） |
| 公開日期: | 2015 |
| 官方說明文件#: | MOST104-2221-E009-027-MY2 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/130090 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11568455&docId=467851 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
- 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究 /
- 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾之開發研究 / 李安謙;LEE AN-CHEN
- 史密斯預測器與預測干擾觀測器架構應用於半導體製程的量測延遲 / 曾瑞德;Tseng, Jui-Te;李安謙;Lee, An-Chen
- 預測干擾觀測器應用於半導體製程的隨機干擾 / 蔡德修;Tsai, Te-Hsiu;李安謙;Lee, An-Chen
- Minimum Variance Run-to-Run Controller for General Stochastic Time-Series-Based Disturbances / Lee, An-Chen;Huang, Ruei-Yu;Chen, Yu-Xian;Tsai, Te-Hsiu;Chang, Chen-Yu
- 干擾觀測器架構應用在半導體製造批次控制 / 謝明宗;Ming-Tsung Hsieh;李安謙;An-Chen Lee
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