標題: 超低介電碳氮化矽薄膜之研究
Fabrication and Development of Ultra-Low-K Silcion Carbonitride Films
作者: 呂志鵬
Leu Jihperng
國立交通大學材料科學與工程學系(所)
公開日期: 2015
官方說明文件#: MOST103-2221-E009-181-MY3
URI: http://hdl.handle.net/11536/130507
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11265363&docId=453651
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