大面積光刻製程用之全反射軟性光罩設計

標題:	大面積光刻製程用之全反射軟性光罩設計 Design of the Total-Internal-Reflection-Based Soft Photomask for Large-Area Photolithography
作者:	洪紹剛國立交通大學機械工程學系（所）
關鍵字:	;
公開日期:	2016
摘要:
官方說明文件#:	MOST105-2221-E009-060
URI:	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11881354&docId=485938 http://hdl.handle.net/11536/131814
顯示於類別：	研究計畫