電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質

標題:	電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質 Structure and optical properties of carbon nitride and silicon carbonitride films prepared by PECVD
作者:	張瑞閔呂志鵬 Chang, Jui-Min Leu, Jih-perng 材料科學與工程學系所
關鍵字:	發光二極體;藍光傷害;電漿輔助化學氣相沈積;碳氮化矽;碳化氮;光學穿透度;LED;Blue light hazards;PECVD;carbon nitride;silicon carbonitride;optical transmittance
公開日期:	2016
URI:	http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070351519 http://hdl.handle.net/11536/139880
Appears in Collections:	Thesis