標題: | 研究電子顯微鏡技術應用在接觸窗缺陷分析 Application of Electron Microscope on Defect Analysis for Via |
作者: | 洪致先 柯富祥 Hung, Chih-Hsien Ko, Fu-Hsiang 工學院半導體材料與製程設備學程 |
關鍵字: | 電子束檢測;缺陷;接觸窗;電子顯微鏡;Ebeam;defect;Via;Dark field;bright field;voltage contrast |
公開日期: | 2016 |
URI: | http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070061328 http://hdl.handle.net/11536/143186 |
顯示於類別: | 畢業論文 |