標題: 研究電子顯微鏡技術應用在接觸窗缺陷分析
Application of Electron Microscope on Defect Analysis for Via
作者: 洪致先
柯富祥
Hung, Chih-Hsien
Ko, Fu-Hsiang
工學院半導體材料與製程設備學程
關鍵字: 電子束檢測;缺陷;接觸窗;電子顯微鏡;Ebeam;defect;Via;Dark field;bright field;voltage contrast
公開日期: 2016
URI: http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070061328
http://hdl.handle.net/11536/143186
顯示於類別:畢業論文