標題: | 以射頻磁控濺鍍氣相沉積法製備參氫的氧化銦薄膜 The fabrication and characterization of hydrogen doped indium oxide by RF-sputter method |
作者: | 王義智 吳耀銓 Wang,Yi-Chih Wu, Yew-Chung 工學院半導體材料與製程設備學程 |
關鍵字: | 以射頻磁控濺鍍氣相沉積法製備參氫的氧化銦薄膜;The fabrication and characterization of hydrogen doped indium oxide by RF-sputter method |
公開日期: | 2016 |
URI: | http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070161324 http://hdl.handle.net/11536/143305 |
顯示於類別: | 畢業論文 |