標題: 垂直式感測器及其製造方法
作者: 冉曉雯
孟心飛
鄭宏志
莊明諺
林洪正
鍾龍江
周家瑋
公開日期: 1-Mar-2017
摘要: 一種垂直式感測器包含一基板;一底部電極;以及至少一可穿透電極組結構。每一可穿透電極組結構包含:感測層及可穿透電極層。可穿透電極層包含複數個孔洞用以供待測氣體穿入,一部分可穿透電極層與感測層交疊,且可穿透電極層包含:一介電層,形成一柱狀結構;一圖案化電極層設置於介電層上;及一感測材料設置於柱狀結構的表面上。利用多層可穿透電極組結構,使待測氣體能夠在各感測層之間自由移動,並與感測層發生反應,並藉由量測反應產生的電性變化達到準確感測目的。上述感測器的製造方法亦於此處被提出。
官方說明文件#: G01N027/12
URI: http://hdl.handle.net/11536/151330
專利國: TWN
專利號碼: 201708813
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