場效電晶體結構

Abstract

一種場效電晶體結構，包括：基底、內部閘極、絕緣層、半導體帶、閘介電絕緣結構以及閘導體結構。內部閘極包括位於基底上的層狀部以及自層狀部延伸的牆部。絕緣層位於內部閘極的層狀部上。半導體帶位於牆部與部分絕緣層上，其中半導體帶包括源極/汲極區以及與源極/汲極區相鄰的通道區。閘介電絕緣結構位於通道區上。閘導體結構位於閘介電絕緣結構上。