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dc.contributor.author簡昭欣zh_TW
dc.contributor.author徐崇浚zh_TW
dc.contributor.author季維均zh_TW
dc.contributor.author劉繼文zh_TW
dc.date.accessioned2019-04-11T06:20:30Z-
dc.date.available2019-04-11T06:20:30Z-
dc.date.issued2018-07-01en_US
dc.identifier.govdocH01L021/24en_US
dc.identifier.govdocH01L021/285en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/151475-
dc.description.abstract一種製造半導體裝置的方法,包含下列步驟。在半導體基板上形成第一金屬層,並在第一金屬層上形成第二金屬層。第二金屬層由與第一金屬層不同的金屬形成。施加微波輻射於半導體基板、第一金屬層和第二金屬層,以形成包含第一金屬層、第二金屬層和半導體基板的成分的合金。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title製造半導體裝置的方法zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNen_US
dc.citation.patentnumber201824362en_US
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  1. 201824362.pdf

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