完整後設資料紀錄
DC 欄位語言
dc.contributor.author施敏en_US
dc.date.accessioned2014-12-10T07:48:18Z-
dc.date.available2014-12-10T07:48:18Z-
dc.date.issued2006en_US
dc.identifier.urihttp://press.nctu.edu.tw/press-tea/books/2-2.aspx?sn=79&vsn=0en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/33000-
dc.description.abstract本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中,所有主要步驟的理論與實作層面的重點。各章穿插附有題解的範例,及學習目標與重要觀念的總結,並附習題為讀後作業。適合作為物理、化學、電機工程、化學工程和材料科學等系所之大四或碩一階段之教材。亦可配合學校實驗室進行相關實作教學,及做為半導體產業界工程師與科學家的參考資料。zh_TW
dc.language.isozh_TWzh_TW
dc.subject半導體en_US
dc.subject積體電路en_US
dc.subjectSemiconductorsen_US
dc.subjectIntegratedcircuitsen_US
dc.title半導體製程概論zh_TW
dc.typeBooken_US
dc.contributor.departmentNCTU Pressen_US
dc.contributor.department國立交通大學出版社zh_TW
顯示於類別:交大出版社