半導體廠煙控系統設計及動作程序之有效性研究

Abstract

本論文研討半導體廠煙控系統設計及動作程序探討。現實狀況中建築物發生火災，設置之排煙可讓火災濃煙對人員避難與災害搶救之妨礙降至最低。現行國內相關消防與建築法規對於建築物排煙設備設置有條例式規定，但如規定設置後之煙控系統，其系統設計及動作程序有效性，有待實驗或實際火災排煙時方能佐證確認。 半導體廠房無塵室，內為挑高大空間維持正壓空調、使用大量可/易燃化學品與昂貴精密機台設備，故設置相關消防防護系統。但1996年開始新竹科學工業園區內發生數次半導體廠房火災，事後調查嚴重損失為火場高溫濃煙對高精密機台設備造成嚴重煙損傷害。 半導體廠房無塵室煙控系統演進，由法規無規定而無設置，到以一般排氣管路方式替代，再到最新專用排煙裝置，最後在增加些正負壓差原理或修正些軟硬體提升排煙效果。 因此本研究，首先針對現行半導體廠無塵室煙控系統進行探討，對現有常見各項煙控系統缺失進行調查探討，另將現行國內外煙控系統相關法規及基準行有系統彙整，後對煙控系統中較常見軟硬體因素進行探討分析，並加入功能性消防防護設計，以提出較佳設計方式或規格，作為適合半導體廠房此類特殊建築物進行防煙系統設置時之參考。 整個煙控系統性能測試或驗證，使用電腦煙控軟體FDS進行模擬分析探討。最後將完整的煙控系統與廠區緊急應變進行結合，透過應變演練，期將可能事故損失降至最低。