光起始劑應用於透明光阻之反應機制及應用於彩光光阻之最佳配方

Abstract

本論文是針對彩色光阻中的光起始劑作一系列的討論。首先，量測單支光起始劑的UV吸收波長範圍，從結果得知OXE02和Triazine B最適用於本實驗用的曝光機，曝光時對紫外光吸收效率最好，再由殘膜收率法實驗得知感度最大的光起始劑為OXE02，所以OXE02在同樣曝光量下，所留下的光阻量最多。 其次，將彩色光阻的配方中去除色膏，使成為透明光阻，於透明光阻中分別只加入單支光起始劑，並針對實驗結果進行討論對光阻的線寬、膜厚、解析、附著影響，其結果為OXE02對線寬影響最大，Triazine B 可提高解析，EAB可提高光阻感度。 另外，選擇最長波長吸收和最短波長吸收的光起始劑搭配增感劑，設計DOE mixture 的配方做光起始劑交互作用分析，在實驗中得知Triazine B 可幫助光阻快速聚合，可提高解析、附著能力。最後探討單支光起始劑添加於藍色光阻中，故將透明光阻加入藍色色膏，再針對個別光起始劑作用做分析，當應用於藍色光阻時，選擇光起始劑吸收波長範圍接近於藍色穿透波長範圍內最好，所以藍色中最佳的光起始劑選擇為Triazine B。