CF4 PLASMA-ETCHING ON LINBO3

doi:10.1063/1.90959

標題:	CF4 PLASMA-ETCHING ON LINBO3
作者:	LEE, CL LU, CL 交大名義發表電控工程研究所 National Chiao Tung University Institute of Electrical and Control Engineering
公開日期:	1979
URI:	http://hdl.handle.net/11536/5088 http://dx.doi.org/10.1063/1.90959
ISSN:	0003-6951
DOI:	10.1063/1.90959
期刊:	APPLIED PHYSICS LETTERS
Volume:	35
Issue:	10
起始頁:	756
結束頁:	758
顯示於類別：	期刊論文