Ｖ型與Ｕ型槽金－氧－半電晶體之製造技術

Abstract

本論文主要目的在對Ｖ型槽金氧半電晶體一方面作理論之探討；一方面並實際製 造之，以研究發展該型電晶體之製造技術。此外並同時製作Ｕ型槽金氧半電晶體， 以研討此型電晶體製作之可行性。