雷射菲索干涉儀的研製

Abstract

本文目的主要在於探討與研製雷射菲索（Fizeau）干涉儀，如何使其得到最佳干涉條 紋的精確度與明晰度度，及在這種要求下系統設計的條件。把所研製的此一系統，用 １ 來作為即時（real-time ）測量半導體晶體片的平整度；其精確度可達──波長，而 １０ 測量截面的直徑可寬至7.62公分。