標題: | 雜質及缺陷之交互擴散: 一種磷及硼擴散的新模式 |
作者: | 高耀堂 GAO, YAO-TANG 郭雙發 GOU, SHUANG-FA 電子研究所 |
關鍵字: | 雜質;缺陷;擴散;交互擴散;磷;硼 |
公開日期: | 1985 |
摘要: | 本文發展了一套雜質及缺陷交互擴散的數值分析程式,此套程式以解雜質及缺陷的傳 輸及連續方程式所組成,並且以雜質及缺陷的濃度為主要變數。吾人假設雜質的擴散 係數為缺陷濃度的函數,而缺陷的分佈係受雜質裡子所產生的電場所影響。這個模式 成功地解釋了磷及硼等不規則的沈積曲線。缺陷的擴散係數及雜質擴散係數模式中的 比例常數,均可以表示成Arrhenius 的形式。 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT742430047 http://hdl.handle.net/11536/52453 |
顯示於類別: | 畢業論文 |