以化學氣相沈積法在工具鋼及不□鋼上成長氧化鋁之研究

Abstract

本論文係利用化學氣相沈積法，以A1C13＋CO2＋H2為反應氣體，蒸鍍溫度800∼950℃ ，A1C1氣化溫度150∼170℃，CO2流量0.5∼2l/min，h（輸送氣體）流量0.7l/min ， H2（反應氣體）流量5∼9l/min，系統壓力稍大於一大氣壓，在工具鋼（D2，H13）， 及不鏽鋼（A1S1 304）上被覆氧化鋁薄膜，探討素材與蒸鍍參數對蒸鍍層成份、蒸鈍 速率、表面結構的影響。 結果顯示：ぇ在蒸鍍溫度為800℃ 時，所得的氧化鋁為＋Ｋ相，850℃∼950℃時為相 ，且隨溫度昇高有（1014）優向指向。提高Ｈ流量、CO流量及A1C13 氣化溫度皆可提 高氧化鋁蒸鍍速率。反應活化能為36.kcal/mole。素材本身的碳化物含量及分佈情形 對蒸鍍層的附著性與表面結構有深切影響。