標題: 負型光阻劑聚亞醯胺系與聚乙烯□咯利酮交聯機構之研究
作者: 陳文金
CHEN, WEN-JIN
林木獅
LIN, MU-SHI
應用化學系碩博士班
關鍵字: 負型光阻劑;聚亞醯胺;聚乙烯□咯利酮;感光性聚亞醯胺;KAPTON;POLYVINYL-PYRROLIDONE;BTDA;BENZOPHENONETETRACARBOXYLIC;DIANHYDRIDE
公開日期: 1987
摘要: 本研究是以3.3′,4.4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (簡 稱BTDA),與1.12-diaminododecane ╱2,6-diaminotoluene(1╱1)或 1.12diaminododecane ╱O-Tolidine(1╱1)合成可溶的感光性聚亞醯胺(簡 稱PI-K與PI-F),以365nm的紫外光照射使其交聯(crosslinking),以FT-IR 追 蹤其官能基變化,並以GC-MS 分析其老化的產物。發現在交聯的過程中,脂肪鏈( aliphatic chain )與苯環上的甲基均扮演著重要的角色。 在500℃熱裂解亞醯胺2小時,以GC-MS 分析其產物,配合FT-IR ,發現熱裂解過 程中,幾乎所有的脂肪鏈均被破壞,且亞醯胺環也遭到破壞。以動態TGA 測得熱老化 (thermal degradation )的反應活化能為56.7Kcal╱mole(PI-K)與61.1 Kcal╱mole(PI-F)。 聚醯胺酸與聚乙烯呲咯利酮(Polyvinyl pyrrolidone )以溶液摻合時,二者極可能 形成分子間氫鍵,在適當條件加熱,可打開呲咯環(pyrrole ring)而形成分子間交 聯。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT762500007
http://hdl.handle.net/11536/53517
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