負型光阻劑聚亞醯胺系與聚乙烯□咯利酮交聯機構之研究

Abstract

本研究是以３．３′，４．４′－benzophenonetetracarboxylic dianhydride （簡 稱BTDA），與１．１２－diaminododecane ╱２，６－diaminotoluene（１╱１）或 １．１２diaminododecane ╱O-Tolidine（１╱１）合成可溶的感光性聚亞醯胺（簡 稱PI-K與PI-F），以３６５nm的紫外光照射使其交聯（crosslinking），以FT-IR 追 蹤其官能基變化，並以GC-MS 分析其老化的產物。發現在交聯的過程中，脂肪鏈（ aliphatic chain ）與苯環上的甲基均扮演著重要的角色。 在５００℃熱裂解亞醯胺２小時，以GC-MS 分析其產物，配合FT-IR ，發現熱裂解過 程中，幾乎所有的脂肪鏈均被破壞，且亞醯胺環也遭到破壞。以動態TGA 測得熱老化 （thermal degradation ）的反應活化能為５６．７Kcal╱mole（PI-K）與６１．１ Kcal╱mole（PI-F）。 聚醯胺酸與聚乙烯呲咯利酮（Polyvinyl pyrrolidone ）以溶液摻合時，二者極可能 形成分子間氫鍵，在適當條件加熱，可打開呲咯環（pyrrole ring）而形成分子間交 聯。