雙載子互補式金氧半閘之統計分析

Abstract

有愈來愈普遍的情況，使用像應用在增大生產率這一類的統計設計技術，因為為了降 低成本及改進競爭力，使得工業界的工廠，愈來愈重視製造能力的設計，而這個統計 設計技術的名稱就叫做反應分析法response surface method(RSM)此種統計方法的效 率已經從成功的應用在工廠的增加生產率方面得到驗證，這個統計方法亦使用在超大 型積體電路(VLSI)的元件設計，像是藉用SUPREME 模擬軟體，此統計方法大致上來講 ，可以計算出各個變數的一次、二次及一次相互關係的各項係數，得到的模型可以用 在兩方面，第一個方向就用在對於某個性能的預測，第二個方向就是在敏感度的分析 ，此種統計方法大概可總括為以幾個步驟：第一步，決定所要導出之模型的名稱及其 變數有那些；第二步，決定模型對各個變數所能適用之範圍；第三步，決定模擬計劃 以做為模擬之用；第四步，實行模擬；第五步，使用回歸分析法來出各變數，構成之 模型；第六步從工程及統計觀察來判斷得到的模型是否有意義；第七步應用此模型。 而本篇論文介紹了反應分析法 (RSM)，此種分析方法對於不論是製程元件和電路的最 佳化設計是非常有用的，在本篇論文內，我們用此種分析方法建立了一些考慮雙載子 互補式金氧半閘特徵波形的延遲時間模型，最終得到的模型是簡單，二次的而且此分 析表示式可正確的預測延遲時間且此延遲時間模型是八個主要影響延遲時間的雙載子 互補式金氧半閘的 SPICE重要因子組成的，最後這些延遲模型在本篇論文內，拿來應 用做物理特性的分析探討及做中心設計，而且當這些模型和 SPICE模擬結果比較時， 亦非常符合。