微加工氣體流量感測元件的研製

Abstract

本文的目的在研製一種熱電阻型的氣體流量計，利用兩異方性蝕刻製作堅強的懸浮細 線，而其中熱阻絲則以半導體技術鍍上白金做為主動區。在本文中從元件結構的設計 ，到氣體的熱傳導關係，以及輸出信號的電訊分析均做了深入的研究。經過測試後， 我們所製作的元件長度可達600μm，在氣體流速10m/s 以下的範圍內均有響應。