砷化鎵/矽異質薄膜磊晶成長

Abstract

最近幾年來，成長絕緣體，金屬以及其它化合半導體在矽晶片上，已經被廣泛地研究 ，此種應用使得矽半導體技術，遠遠的超越了以往的應用範圍，而使半導體技術進入 化合半導體元件，光電元件以及LSI ，VLSI的新里成碑，但是此種磊晶〞藝術〞，無 論在理論及應用上，了解的程度並不深入，因此成長簡單的砷化鎵╱矽異質磊晶膜， 可使我們進一步了解異質磊晶術之關鍵，而使我們在發展異質磊晶術的過程中，奠定 良好的理論基礎，在本論文中除介紹本實驗室自行組裝的MOCVD 系統外，並對我們利 用TEGa 與TBAs 所磊晶的砷化鎵╱矽異質磊晶薄膜，做一詳細的分析。