標題: | 射頻激勵二氧化碳雷射技術之研究 Study of a radio frequency excited CO□laser |
作者: | 馮元掄 FENG, YUAN-LUN 謝太炯 XIE, TAI-JIONG 電子物理系所 |
關鍵字: | 雷射;射頻技術;等效電路 |
公開日期: | 1991 |
摘要: | 利用射頻激勵二氧化碳雷射為一近年來雷射加工機的新發展趨勢,而射頻放電現象與 傳統直流放電的物理特性不同。本論文探討射頻激勵雷射的基礎性問題。理論上,我 們討論了觸發放電之崩潰電場與氣體參數的關係,並且建立射頻放電區的等效電路。 而射頻電路方面,藉由SPICE 和LIBRA 軟體的分析,得知阻抗匹配所具備最大功率傳 輸和電壓增益的特性,以及模擬計算放電管阻抗值。實驗上,從建立的快速軸流放電 系統,實際操作匹配電路,量測放電崩潰電壓與氣壓的關係,其結果與理論預測相符 。從40cm的放電長度上,可以獲得超過120 瓦的雷射功率輸出,轉換效率亦達14% 以 上。另外,我們也討論雷射功率與氣體參數的關係,並就射頻技術與其他的雷射激勵 技術作一比較。 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802429020 http://hdl.handle.net/11536/56020 |
顯示於類別: | 畢業論文 |