標題: 射頻激勵二氧化碳雷射技術之研究
Study of a radio frequency excited CO□laser
作者: 馮元掄
FENG, YUAN-LUN
謝太炯
XIE, TAI-JIONG
電子物理系所
關鍵字: 雷射;射頻技術;等效電路
公開日期: 1991
摘要: 利用射頻激勵二氧化碳雷射為一近年來雷射加工機的新發展趨勢,而射頻放電現象與 傳統直流放電的物理特性不同。本論文探討射頻激勵雷射的基礎性問題。理論上,我 們討論了觸發放電之崩潰電場與氣體參數的關係,並且建立射頻放電區的等效電路。 而射頻電路方面,藉由SPICE 和LIBRA 軟體的分析,得知阻抗匹配所具備最大功率傳 輸和電壓增益的特性,以及模擬計算放電管阻抗值。實驗上,從建立的快速軸流放電 系統,實際操作匹配電路,量測放電崩潰電壓與氣壓的關係,其結果與理論預測相符 。從40cm的放電長度上,可以獲得超過120 瓦的雷射功率輸出,轉換效率亦達14% 以 上。另外,我們也討論雷射功率與氣體參數的關係,並就射頻技術與其他的雷射激勵 技術作一比較。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802429020
http://hdl.handle.net/11536/56020
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