雙亞胺基鉬錯合物之合成及化學氣相沉積反應

標題:	雙亞胺基鉬錯合物之合成及化學氣相沉積反應 Synstheses and Chemical Vapor Depositon Reaction of Bisimido lexes
作者:	何文郁 Wen-Yu Her 裘性天 Hsin-Tein Chiu 應用化學系碩博士班
關鍵字:	氮化鉬；化學氣相沉積法；多晶型薄膜；雙亞胺基鉬錯合物;molybdenumnitride; Chemical Vapor Deposition ;bisimidomolybdenum
公開日期:	1992
摘要:	本實驗以Mo(tBuN)2Cl2DME為起始物,進而合成新的雙亞胺基鉬錯合物 -[MO(tBuN)2Cl2tBuNH]2,Mo(tBuN)2Cl2Et2NH,Mo(tBuN)2(tBuNH)2.並以 Mo (tBuN)2(tBuNH)2為前驅物以LPCVD沉積法沉積氮化鉬薄膜。並XRD, WDS, Auger ESCA鑑定,最後化學氣相沉積過程中所產生的副產物以NMR, RGA分析並推測可能的反應途徑。
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT810500016 http://hdl.handle.net/11536/57069
顯示於類別：	畢業論文