發光多孔質矽的製作與特性量測

Abstract

我們利用電解液為HF加ethanol 的定電流源陽極忠電解系統，將〔100 〕的矽晶片 製成多孔質矽。然後藉著電流密度、溶液成份、電解時間，以及使用旋轉電極的控 制，使得樣品得以有相當強度的光致發光（Photoluminescence ），並且能均勻化 和大致控制發光頻率。接著針對發光多孔質矽，我們做拉曼光譜之光性量測，發現 多孔質矽層與μc-si之光譜相當符合。而在電性量測方面，水銀╱發光多孔質矽之 電流－－電壓特性告訢我們，多孔質矽表面存在許多的表面狀態。而鋁╱p 型矽是 歐接觸，但是鋁╱發光多孔質矽則變成了Schottky，且其電容－－電壓特性顯示， p 型發光多孔質矽層的載子已被deplete 掉了。 #9303218