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dc.contributor.author魏志興en_US
dc.contributor.authorWEI, ZHI-XINGen_US
dc.contributor.author趙于飛en_US
dc.contributor.author陳文雄en_US
dc.contributor.authorZHAO, YU-FEIen_US
dc.contributor.authorCHEN, WEN-XIONGen_US
dc.date.accessioned2014-12-12T02:11:09Z-
dc.date.available2014-12-12T02:11:09Z-
dc.date.issued1992en_US
dc.identifier.urihttp://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT812429006en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/57265-
dc.description.abstract橢圓係利用光的偏極特性(polarization property) 來量材料的折射率，吸收和厚度 等光學參數，橢圓儀橢圓偏光係數(ellipsometric parameters)Φ及△與平行和垂直 反射光的關係，可由Fresnel equation導出，利用偏光片和析光片的旋轉測得Φ和△ ，進一步推算出待測物的光學參數。 實驗分成兩個步驟，第一個步驟是偏光片和析光片光軸位置的校正並反推待測物之折 射率，由於與預估值不合，故第二個步驟是推敲待測物反射的型態。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject橢圓儀zh_TW
dc.subject待測物zh_TW
dc.subject光學參數zh_TW
dc.title橢圓儀的校正和待測物光學參數的測定zh_TW
dc.titleAzimuthal alignment in ellipsometry and it's measurementsen_US
dc.typeThesisen_US
dc.contributor.department電子物理系所zh_TW
顯示於類別：畢業論文


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