標題: | 積體電路生產線上利用群聚分析之修正缺點數管制圖 Modified Peocess Control Chart in IC Fabrication -Using Clustering Analysis |
作者: | 劉宗明 T.M.Liu 唐麗英;李威儀 Lee-Ing Tong;Wei-I Lee 工業工程與管理學系 |
關鍵字: | 缺陷;群聚;缺點數管制圖;群聚分析;defect;cluster;c chart;cluster analysis |
公開日期: | 1994 |
摘要: | 隨著積體電路晶圓面積的增加,缺陷出現群聚的現象,使得傳統以波瓦松 分配的缺點數管制圖不適用。而新進的論文,有的雖考慮到缺陷群聚的現 象,而用其它較複雜的分配取代波瓦松分配,但卻因此失去原有管制圖建 構簡單便於使用的優點,且所使用的分配亦有可議之處。另有論文提出當 缺點數太多或缺陷群聚程度太嚴重時,都可視為製程異常,而提出缺點數 管制圖與缺陷群聚程度管制圖並用之主張。但衡量群聚程度的指標很多, 且衡量結果差異性很大而無法得到一致性的結論,因而使得缺點數管制圖 在生產線的應用受到限制。由於傳統缺點數管制圖與現有修正缺點數管制 圖都有不少缺失,使得管制圖這項工具無法適用於現今積體電路生產線上 。因此本研究的主要目的,是想藉由群聚分析的方法,找出缺陷群聚數目 及缺陷群聚中心,並將晶圓上的缺點數做一合理的修正,使修正後的缺陷 數能符合波瓦松分配,如此便可使傳統的缺點數管制圖能再次運用於積體 電路生產線上,並保留管制圖建構簡單且便於使用的優點。本研究最後亦 將以一實例,分別比較傳統缺點數管制圖與已發表過之修正缺點數管制圖 ,及本研究所發展之缺點數管制圖,以顯現本研究的實用性與優越性。 As the surface area of the wafer of Integrated increases, the clustering phenomenon of the defects become apparent. This phenomenon disabled the conventional C-chare based on Poisson distribution used in analyzing. Although the latest thesis did take clustering phenomenon into consideration and use other distribution instead, the use of the distribution and whether or not user friendly is still left a question. The purpose of this thesis is to use the method of clustering analysis to find out the quantity and the center of defects. A reasonable modification will be made so that the modified number of defects can match Poisson distribution which can be inplemented C-chart easily and friendly. |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT830030026 http://hdl.handle.net/11536/58789 |
顯示於類別: | 畢業論文 |