標題: | 微波電漿化學氣相沉積法研製氧化鈦薄膜 Fabrication of TiO2 thin films by microwave plasma chemical vapor deposition |
作者: | 江炳耀 Jiang, Bing Yao 林鵬 Lin, Peng 材料科學與工程學系 |
公開日期: | 1994 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT832159014 http://hdl.handle.net/11536/59678 |
顯示於類別: | 畢業論文 |