無塵室內靜電現象之研究

Abstract

本文主要以實驗方法探討無塵室內靜電在不同狀況下引發之現象，實 驗內容包括：(1)探討作業員在導電地板及塑膠地板上來回走動、自座椅 起身及坐著90度轉身時，在人體及無塵衣上所產生及移轉之靜電(2)探討 聚苯乙烯發泡等包裝填充墊料，在運輸振動後產生之靜電(3)探討在不同 相對濕度下，無塵室內空氣流及渦流，在流經物體表面時產生之靜電。結 果發現，在導電地板上，人體及無塵衣上累聚的靜電不超過100伏特，在 塑膠地板上，累聚的靜電則會倍數增加。此外，在人體及無塵衣上的靜電 ，會以傳導方式經鞋底導排至地板。其次，聚苯乙烯發泡在運輸振動後所 產生的靜電，並不足以破壞裝於抗靜電保護袋內的靜電敏感件。再則，即 使在20 %RH低濕下，無塵室內的空氣流及渦流，仍不會因與物體間的摩擦 而引發靜電。