無電解質之三氧化鎢與氧化銥二極體元件在低溫環境下之電性研究

Abstract

本論文的主要內容介紹，是以三氧化鎢/氧化銥薄膜為基礎的二極體元件在低溫環境下之工作研究探討。首先，我們在白金電極上先後鍍上三氧化鎢與氧化銥薄膜，並讓兩薄膜中間部分面積重疊，使得薄膜重疊的界面形成二極體架構。而這兩薄膜之靶材濺鍍都是使用剝落製程技術，最後才以環氧樹脂封裝完成。本元件的工作機制，是由於三氧化鎢與氧化銥薄膜都是採雙載子注入方式，而我們濺鍍出來的氧化銥薄膜夾層內含有氫離子，而當氫離子與電子進入薄膜內時，薄膜會產生可逆式的氧化還原反應。而我們將元件放入低溫系統內，則會發現Vonset會隨溫度的降低而增大；Vzener其值會隨溫度的降低而變小。而且我們可把此元件視為一良好的溫度感測器來使用，因元件含有以下優點：在-90℃~120℃間有良好的工作重複性、體積小、製程便宜、薄膜穩定性佳、微型化。