標題: 微奈米壓電平台之數位控制系統
Digital Control System of a Piezo-Positioning Nanostage
作者: 林錫寬
LIN SHIR-KUAN
國立交通大學電機與控制工程學系(所)
關鍵字: 壓電平台;類神經網路;遲滯建模
公開日期: 2007
摘要: 本整合型研究計畫之主要目標是建立一光纖式光鉗操作系統,並利用此系統進行神 經細胞生長的觀測,以及記錄神經細胞受到非接觸式物理刺激所產生的現象,作為光鉗 系統性能的驗證。 本計劃研製壓電平台數位控制器,期望達到10 nm 的位移精度。最終目標為結合 CCD 影像處理、微米自動平台與微米級聚焦液晶透鏡結構,來達到操作生物分子、 DNA、病毒、奈米碳管、細胞檢測及微電子粒子等。由於Z 方向利用液晶變焦透鏡的特 性,其在光軸(Z 軸)上能自由的改變聚焦位置,來達成光鉗再Z 軸的移動,所以本計畫 只針對X-Y 方向(二維)來研製壓電驅動平台系統,主要重點在研發高性能的奈米定位控 製法則。 壓電平台最大的問題是位移與輸入電壓呈現遲滯(Hysteresis)關係,很難使用傳 統的控制法則來達到奈米級的位移控制。雖然現在有許多壓電平台的控制法則,但是 對於與速度相關的遲滯問題,仍難以克服。本計畫預計提出一種創新的控制法則。
官方說明文件#: NSC96-2221-E009-237
URI: http://hdl.handle.net/11536/88398
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1463627&docId=262302
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