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dc.contributor.author邱碧秀en_US
dc.contributor.authorCHIOU BI-SHIOUen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:29:43Z-
dc.date.available2014-12-13T10:29:43Z-
dc.date.issued2006en_US
dc.identifier.govdocNSC95-2221-E009-085zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/89588-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1238528&docId=228389en_US
dc.description.abstract本計畫將內藏於基板之高頻電壓控制震盪器為測試載具,研究系統封 裝之關鍵技術,包括:(1)導線連接製程與低介電材料之製程整合;(2)高介 電材料內藏式電容製程與製程最佳化,本研究選擇BaxSr1-xTiO3 系統與 Ca0.25Cu0.75TiO3 系統作為研究的高介電材料;(3)鍍製奈米層改善內藏式電 容特性,並作物理機制探討;(4)內藏式被動元件製程與導線連接系統製程 整合,並作可靠度的探討;(5)高頻電性之量測、模擬及分析;(6)以電壓控 制震盪器作為測試載具,完成內藏式高頻電路的開發及製程的最佳化。計 畫內容包括: 1. 低介電材料與導線系統之整合研究 2. 內藏式被動元件之製作與製程最佳化 3. 奈米層之鍍製對於內藏式電容特性之影響與製程最佳化 4. 內藏式被動元件與導線系統製程整合 5. 內藏式被動元件/低介電材料/基板間之介面反應及其對可靠度影響之 研究 6. 以電壓控制震盪器作為測試載具,達成內藏被動元件之整合型基板製 程最佳化zh_TW
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject系統封裝zh_TW
dc.subject內藏式被動元件zh_TW
dc.subject可靠度zh_TW
dc.subject整合型基板zh_TW
dc.subject高介電材料zh_TW
dc.subject電壓控制震盪器zh_TW
dc.title系統封裝關鍵技術研究---具內藏式被動元件之高頻電壓控制振盪器測試載具的研究zh_TW
dc.titleResearch on the Key Technologies of System-on-Package---Voltage Controlled Oscillator Testing Vehicle with Embedded Passive Componentsen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學電子工程系zh_TW
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